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簡介 Dimension5000掃描探針顯微鏡Dimension5000SPM具有對大樣品的自動成像能力，使之在半導體和數據存儲設備的制造過程中廣泛使用，它能夠測量直徑達350mm的樣品上測量100多個區(qū)域。它具有原子力顯微鏡和掃描隧道顯微鏡的配置，可以在三維尺寸上探測缺陷、測量表面粗糙度和其它特征，測量過程對樣品無損傷并且無需對樣品進行預處理和修飾。